[发明专利]具有表面粗糙度的抛光垫无效
| 申请号: | 200680045085.9 | 申请日: | 2006-11-28 |
| 公开(公告)号: | CN101500756A | 公开(公告)日: | 2009-08-05 |
| 发明(设计)人: | 蒂莫西·J·多诺休 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
| 主分类号: | B24D11/00 | 分类号: | B24D11/00;B24B1/04 |
| 代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 肖善强 |
| 地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 具有 表面 粗糙 抛光 | ||
1.一种抛光垫,包含:
一抛光层,其具有表面粗糙度介于约200至300微英寸间的抛光表 面。
2.如权利要求1所述的抛光垫,其中所述抛光表面具有介于250至 300微英寸之间的表面粗糙度。
3.如权利要求1所述的抛光垫,还包括一背衬层,位于所述抛光层的 与所述抛光表面相反的一侧上。
4.如权利要求1所述的抛光垫,其中所述抛光表面包含多孔聚氨酯。
5.如权利要求1所述的抛光垫,其中所述抛光表面是一新鲜表面。
6.一种制造抛光垫的方法,包括:
通过挤出成型或模铸成型法形成一抛光层;以及
打磨所述抛光层的抛光表面使其表面粗糙度介于约200至300微英 寸之间。
7.如权利要求6所述的方法,其中打磨所述抛光表面的步骤包括打磨 所述抛光表面使其表面粗糙度介于250至300微英寸之间。
8.如权利要求6所述的方法,还包括连接一背衬层至所述抛光层的与 所述抛光表面相反的一侧。
9.如权利要求8所述的方法,其中在所述打磨步骤之后,将所述背衬 层连接至所述抛光层。
10.如权利要求6所述的方法,其中所述抛光层包含多孔聚氨酯。
11.如权利要求6所述的方法,其中所述打磨步骤使用除了用于抛光基 材之抛光机以外的机器来执行。
12.如权利要求6所述的方法,还包括在所述打磨步骤之后,使用所述 抛光垫抛光一基材。
13.如权利要求6所述的方法,其中打磨所述抛光表面的步骤包括一第 一打磨步骤,以及使用比第一打磨步骤更细的打磨粒度的第二打磨步骤。
14.如权利要求6所述的方法,其中形成所述抛光层的步骤包括形成一 抛光层,以及将所述抛光层切割成所需形状。
15.如权利要求6所述的方法,其中形成所述抛光层的步骤包括将所述 抛光层形成为输送带上的薄片材。
16.如权利要求6所述的方法,其中形成所述抛光层的步骤包括注射成 型法。
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