[发明专利]具有表面粗糙度的抛光垫无效

专利信息
申请号: 200680045085.9 申请日: 2006-11-28
公开(公告)号: CN101500756A 公开(公告)日: 2009-08-05
发明(设计)人: 蒂莫西·J·多诺休 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: B24D11/00 分类号: B24D11/00;B24B1/04
代理公司: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 代理人: 肖善强
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 具有 表面 粗糙 抛光
【权利要求书】:

1.一种抛光垫,包含:

一抛光层,其具有表面粗糙度介于约200至300微英寸间的抛光表 面。

2.如权利要求1所述的抛光垫,其中所述抛光表面具有介于250至 300微英寸之间的表面粗糙度。

3.如权利要求1所述的抛光垫,还包括一背衬层,位于所述抛光层的 与所述抛光表面相反的一侧上。

4.如权利要求1所述的抛光垫,其中所述抛光表面包含多孔聚氨酯。

5.如权利要求1所述的抛光垫,其中所述抛光表面是一新鲜表面。

6.一种制造抛光垫的方法,包括:

通过挤出成型或模铸成型法形成一抛光层;以及

打磨所述抛光层的抛光表面使其表面粗糙度介于约200至300微英 寸之间。

7.如权利要求6所述的方法,其中打磨所述抛光表面的步骤包括打磨 所述抛光表面使其表面粗糙度介于250至300微英寸之间。

8.如权利要求6所述的方法,还包括连接一背衬层至所述抛光层的与 所述抛光表面相反的一侧。

9.如权利要求8所述的方法,其中在所述打磨步骤之后,将所述背衬 层连接至所述抛光层。

10.如权利要求6所述的方法,其中所述抛光层包含多孔聚氨酯。

11.如权利要求6所述的方法,其中所述打磨步骤使用除了用于抛光基 材之抛光机以外的机器来执行。

12.如权利要求6所述的方法,还包括在所述打磨步骤之后,使用所述 抛光垫抛光一基材。

13.如权利要求6所述的方法,其中打磨所述抛光表面的步骤包括一第 一打磨步骤,以及使用比第一打磨步骤更细的打磨粒度的第二打磨步骤。

14.如权利要求6所述的方法,其中形成所述抛光层的步骤包括形成一 抛光层,以及将所述抛光层切割成所需形状。

15.如权利要求6所述的方法,其中形成所述抛光层的步骤包括将所述 抛光层形成为输送带上的薄片材。

16.如权利要求6所述的方法,其中形成所述抛光层的步骤包括注射成 型法。

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