[发明专利]感应压差的系统和方法

权利要求书

1.一种差压感应系统，包括：

膜层，其中具有径向延伸的通道并且包括径向设置在所述通道之外的一个或多个腔；

设置在所述通道中并且以所需频率振荡的至少一个共振梁；和

感应电路，用于检测指示所述膜层中变形的所述至少一个共振梁的振荡。

2.权利要求1的差压感应系统，其中所述至少一个共振梁在所述膜层的外围部分由形成在所述膜层的外围部分的至少一个台面支撑。

3.权利要求2的差压感应系统，其中所述至少一个共振梁可滑动地设置在所述一个或多个腔中。

4.权利要求2的差压感应系统，其中所述至少一个台面不对称地设置在所述一个或多个腔中。

5.权利要求1的差压感应系统，其中所述膜层包括半导体材料。

6.权利要求1的差压感应系统，其中所述一个或多个腔包括真空压力。

7.权利要求1的差压感应系统，其中所述至少一个共振梁构造成通过控制电路由外电压或电流脉冲激励。

8.权利要求1的差压感应系统，其中所述至少一个共振梁振荡的共振频率根据所述膜层的变形而变化。

9.权利要求1的差压感应系统，其中所述膜层构造成将所述膜层中的变形传递给所述至少一个共振梁，以在所述至少一个共振梁中产生应变。

10.权利要求1的差压感应系统，其中所述至少一个共振梁包括至少一个压阻元件。

11.权利要求1的差压感应系统，其中所述至少一个共振梁包括至少一个压容元件。

12.一种差压传感器，包括：

固定支撑结构体；

连接到所述固定支撑结构体的第一膜层和第二膜层，其中所述第一膜层和所述第二膜层共同在其中限定至少一个腔；

设置在所述腔中并且以共振频率振荡的共振构件；和

接合在所述第一膜层和所述第二膜层上并且连接到所述共振构件的一个或多个台面，其中所述台面构造成将所述第一膜层中产生的变形传递给所述第二膜层和所述至少一个共振构件。

13.权利要求12的差压传感器，包括连接所述第一膜层和所述第二膜层的至少一个台面，所述共振构件穿过所述至少一个台面。

14.权利要求12的差压传感器，其中所述第一膜层和所述第二膜层包括半导体材料。

15.权利要求12的差压传感器，其中所述腔包括真空压力。

16.权利要求12的差压传感器，其中所述共振构件构造成通过控制电路由外电压或电流脉冲激励。

17.权利要求12的差压传感器，其中所述共振构件的共振频率根据所述第一膜层和所述第二膜层中产生的变形而变化。

18.权利要求12的差压传感器，其中所述第一膜层和所述第二膜层中产生的变形在所述共振构件中产生应变。

19.权利要求12的差压传感器，其中所述一个或多个台面不对称地设置在所述腔内。

20.一种制造差压传感器的方法，包括：

在固定支撑结构体中设置包括第一通道的第一膜层；

在所述固定支撑结构体中设置包括第二通道的第二膜层，使得所述第一膜层和所述第二膜层形成膜并且所述第一通道和所述第二通道形成闭合通道，所述闭合通道延伸至所述膜的外围部分；和

在所述闭合通道内并且在所述膜的外围部分内蚀刻的一个或多个腔内可滑动地设置至少一个共振梁，其中一个或多个立柱在所述膜的外围部分处的所述一个或多个腔中支撑所述至少一个共振梁。