[发明专利]具有吸入探针的检漏器

说明书

技术领域

本发明涉及一种具有吸入探针的检漏器，该检漏器包括包含真空泵和示踪气体感测器的主装置，所述主装置通过软管与吸入探针连接。

背景技术

DE 44 45 829 A1(Leybold AG)描述了一种在吸入软管末端具有高真空泵级的逆流吸入检漏装置。使用约4m长的吸入软管，所述吸入软管被设计为毛细管线并具有约0.4mm的内径。吸入软管提供维持在其出口端处产生真空所需的节流效应。

DE-OS 24 41 124描述了一种具有吸入软管的检漏装置，其中所述软管具有相对较大的直径。在为质谱仪的示踪气体感测器的前方设置节流阀。通过将节流阀布置在示踪气体感测器的前方，真空泵可以将待分析空气从吸入探针的入口更快地输送到节流阀的前方，即输送到示踪气体感测器。因此，降低了取决于软管长度的响应时间。

德国专利申请DE 10 2005 009 713(尚未公开)描述了一种具有吸入探针的检漏器，其中将吸入探针连接到主装置上的软管包括至少两个毛细管线，所述毛细管线可以选择性地在主装置或吸入探针中关闭。通过选择性地开启一个或几个阀，可以选择通过其吸入空气的毛细管线。因此，通过选择具有特定横截面的毛细管线，可以改变死时间。此外，以不同气体流量操作的两种不同类型的装置可以与相同软管结合使用。

吸入检漏的问题是，必须尽可能快地探测大部分测试项目，以最早发现工艺中的泄漏。其后，必须评价所发现泄漏的大小，使用的参考值为预先设定的触发信号。这两个要求彼此矛盾，因为

对于有效的检漏，需要短的响应时间和良好的距离灵敏度，以及

然而，对于定量评价，需要具有高稳定性的信号，这在快速测量中不易于得到。

由允许实施检漏模式和泄漏量测量模式的实践中，已知检漏器。利用具有差分显示的仪器，其中确定作为时间的函数的测量信号的导数以抑制恒定的背景浓度，在探测模式中选择最可能高的前置放大器灵敏度，以在距离泄漏较大距离处检测低浓度的已泄漏气体。利用具有非差分直接显示的仪器，探测触发水平限定得明显低于实际触发极限。在任一种情况下，增加灵敏度或降低触发水平都不会提高距离灵敏度，这是因为在泄漏周围形成的泄漏气体的雾是非常有限的，例如尤其是具有低扩散系数的重气体，例如制冷剂。应该增加放大，但必须接受较大的信号噪音。如果通过较长的平均时间减小噪音，则信号的增加会非常地更慢，降低可能的探测速度。利用非差分显示，通过重复的手动调零仅可以校正慢的背景变化，这很难在探测模式中给出增加的灵敏度。

发明内容

本发明的一个目的是提供一种具有吸入探针的检漏器，所述检漏器允许尽可能快地探测大部分测试项目，并快速地发现工艺中的每处泄漏，并且也允许精确地确定泄漏的大小。

本发明检漏器的特征在于权利要求1的特征。据此，软管包括具有不同横截面的至少第一通道和第二通道，其中至少具有较大横截面的通道设置有阀，并且其中设置用于在检漏模式(在该模式中，打开较大通道)和泄漏量测量模式(在该模式中，关闭较大通道)之间切换的开关。

在检漏模式中，用较大横截面的通道进行泄漏的探测，由此得到大的范围和短的响应时间。因此，也可以从较远的距离探测泄漏，因为由于强的吸入作用和吸入探针的较快移动，所以从泄漏处之前的雾中瞬间吸入大量泄漏气体并且立即显示。死时间和上升时间都是最短的，因此加快检漏。这不是采用放大的增加，放大的增加可能导致小的干扰浓度的错误测量。而是采用流量的增加，由此加快来自泄漏之前的雾的气体的探测。

与其相反，用小流量测量泄漏量，导致短的量程。因此，在由探测所知的泄漏位置处的测量期间，精确地定量测量泄漏，并具有大的稳定性。通过小流量最小化来自环境的背景。

在检漏模式中，维持气体的限定的环境浓度，这与吸入管线中的气体流无关。由于吸入管中的大的气体流，泄漏气体流导致在泄漏周围形成的雾中的气体浓度降低，这是因为流入的空气引起稀释。因此，由于吸入管中大的气体流，与泄漏信号相比，限定的在环境中的背景浓度会导致较大的信号。尽管具有较大气体流量的吸入管线导致较快的信号上升和较好的距离灵敏度，但是示踪气体对环境污染物的灵敏度较高。

由于上述原因，在利用较低的气体流量实施的泄漏量探测模式中，检漏器对环境污染物的灵敏度较低。

在检漏模式中，优选进行背景的连续自动抑制。为此，可以提供用于探测和显示示踪气体感测信号随时间的变化的装置。可以使用形成信号导数的微分装置，以使缓慢变化的信号归零，所述信号包括背景信号。然而，进行泄漏量的测量而不用自动背景补偿。