[发明专利]导电性金属氧化物薄膜除去方法以及装置无效
| 申请号： | 200680027925.9 | 申请日： | 2006-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN101233088A | 公开（公告）日： | 2008-07-30 |
| 发明（设计）人： | 大工博之;井上铁也 | 申请（专利权）人： | 日立造船株式会社;日立造船精密科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C23/00 | 分类号： | C03C23/00;C25F3/00;C25F7/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 范征 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 导电性 金属 氧化物 薄膜 除去 方法 以及 装置 | ||
1.导电性金属氧化物薄膜的除去方法，其特征在于，具有浸渍于电解液的具有导电性金属氧化物薄膜的基材、被浸渍于电解液的第1电极以及被浸渍于电解液且与所述导电性金属氧化物薄膜相对地配置的第2电极，通过以第1电极为负极、第2电极为正极的条件施加电压，以还原反应将所述导电性金属氧化物除去。
2.如权利要求1所述的导电性金属氧化物薄膜的除去方法，其特征在于，所述电解液的电阻率为102Ω·cm～106Ω·cm。
3.导电性金属氧化物薄膜的除去装置，它是实施权利要求1或2所述的导电性金属氧化物薄膜的除去方法的装置，其特征在于，具有以至少一端浸渍在电解液中的状态配置的第1电极；以浸渍于加工槽内的电解液的基材的导电性金属氧化物薄膜为负极的条件，以至少一端浸渍在电解液中的状态配置，且所述一端与所述导电性金属氧化物薄膜相对的第2电极；以该第2电极为正极、所述第1电极为负极的条件施加电压的电源。
4.如权利要求3所述的导电性金属氧化物薄膜的除去装置，其特征在于，将所述第1电极或所述第2电极制成以电解液流下至所述基材的导电性金属氧化物薄膜上的条件在所述基材的上方以不与电解液接触的状态倾斜配置的平板状，具备向该倾斜配置的平板状的第1电极或第2电极供给电解液的电解液供给部件。
5.如权利要求3或4所述的导电性金属氧化物薄膜的除去装置，其特征在于，具有所述基材或所述第2电极的移动部件，或者所述基材以及所述第2电极的移动部件。
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