[发明专利]氧化钇烧结体和耐腐蚀性部件、其制造方法

权利要求书

1.一种氧化钇烧结体，其特征在于，其是在氧化钇(Y₂O₃)粉末中添加硼化合物进行烧成而成的氧化钇烧结体，在该氧化钇烧结体中，硼(B)基本上以Y₃BO₆的形式存在。

2.根据权利要求1所述的氧化钇烧结体，其特征在于，烧成后的氧化钇(Y₂O₃)烧结体中所含的Y₃BO₆量为0.12vol％以上60vol％以下。

3.一种氧化钇烧结体的制造方法，其特征在于，在氧化钇(Y₂O₃)粉末中以0.02wt％以上10wt％以下的比例添加氧化硼(B₂O₃)，对该混合粉末进行成型，然后在1300℃以上1600℃以下使其烧结。

4.一种氧化钇烧结体的制造方法，其特征在于，在氧化钇(Y₂O₃)粉末中以0.02wt％以上10wt％以下的比例添加氧化硼(B₂O₃)，对该混合粉末进行成型，然后在1400℃以上1500℃以下使其烧结。

5.一种耐腐蚀性部件，其特征在于，其是在处理被处理基板的处理装置中被使用的耐腐蚀性部件，作为该耐腐蚀性部件的构成晶体，含有Y₂O₃晶体和Y₃BO₆晶体。