[发明专利]用于MEMS电容式麦克风的改进膜片

权利要求书

1.一种用于麦克风(1)的膜片(2)，包括：

第一部分(A1)、第二部分(A2)和连接所述第一部分(A1)和所述第二部分(A2)的元件(E1...E4，E1’...E4’)，

其中所述第二部分(A2)设置为在空闲位置附近相对于所述第一部分(A1)移动，所述移动至少包括沿与所述膜片(2)垂直的移动方向(dm)的平移分量；

其中所述元件(E1...E4，E1’...E4’)实质上沿所述第二部分(A2)的外边界设置；以及

其中所述元件(E1…E4，E1’…E4’)配置成限定在所述空闲位置附近的所述移动的弹簧常数。

2.根据权利要求1所述的膜片(2)，其中所述元件(E1…E4，E1’…E4’)附加地配置成限定在所述空闲位置所述第一部分(A1)内部的平面张应力和压应力(σx，σy)。

3.根据权利要求1所述的膜片(2)，至少包括三个元件(E1…E4，E1’…E4’)。

4.根据权利要求1所述的膜片(2)，其中所述元件(E1…E4，E1’…E4’)螺旋形设置。

5.根据权利要求1所述的膜片(2)，其中至少一个元件是对称成型的，或者至少一个元件(E1’)是与另一个螺旋形设置元件(E1…E3)相反地设置的。

6.根据权利要求1所述的膜片(2)，由半导体组成，其中所述第一部分(A1)、所述第二部分(A2)和所述元件(E1…E4，E1’…E4’)只由矩形结构组成，并且其中所述结构与所述半导体的晶格一致。

7.根据权利要求1的所述的膜片(2)，其中所述第一部分(A1)、所述第二部分(A2)和所述元件(E1…E4，E1’…E4’)由具有实质上相同厚度(d)的相同材料的平坦管芯组成。

8.根据权利要求1所述的膜片(2)，其中所述第一部分(A1)、所述第二部分(A2)和所述元件(E1…E4，E1’…E4’)之间存在作为衬垫而配置的狭缝(S1…S8)。

9.根据权利要求1所述的膜片(2)，其中设置膜片(2)的最大幅度(s)小于膜片(2)的厚度(d)。

10.一种麦克风(1)，包括根据权利要求1至9所述的膜片(2)。