[发明专利]具有石英窗口传感器的嗅吸测漏器

权利要求书

1.一种具有石英窗口传感器的嗅吸测漏器，包括：通过嗅吸导管(11)连接到所述石英窗口传感器(16)的嗅吸探针(12)，真空泵(13)以及位于所述石英窗口传感器(16)的石英窗口(17)前面并且连接到所述真空泵(13)的吸入室(15)。

2.如权利要求1所述的嗅吸测漏器，其特征在于，所述吸入室(15)包括与所述石英窗口(17)一起限定气体引导室(19)的气体引导板(18)，并且所述嗅吸导管(11)通入所述气体引导室(19)内。

3.如权利要求1或2所述的嗅吸测漏器，其特征在于，从所述真空泵(13)通到所述吸入室(15)的吸入导管(14)包括第一节气阀(D1)，并且所述第一节气阀(D1)能够由包括第二节气阀(D2)和阀(V2)的旁路导管(25)跨接。

4.如权利要求1至3中任一项所述的嗅吸测漏器，其特征在于，从所述真空泵(13)通到所述吸入室(15)的吸入导管(14)包括第一节气阀(D1)，并且所述第一节气阀(D1)能够由包括阀(V1)的不节流的旁通导管(26)跨接。

5.如权利要求1至4中任一项所述的嗅吸测漏器，其特征在于，为了保护所述石英窗口传感器(16)免受污染，所述嗅吸导管(11)通过污染防护阀(V4)不节流地连接到所述真空泵(13)。

6.如权利要求1至5中任一项所述的嗅吸测漏器，其特征在于，所述吸入室(15)设置有通流阀(V3)。

7.如权利要求6所述的嗅吸测漏器，其特征在于，所述通流阀(V3)与节气阀(D3)串联地连接到所述嗅吸导管(11)。

8.如前述权利要求中任一项所述的嗅吸测漏器，其特征在于正常模式，在所述正常模式中所述旁通导管(26)关闭，并且所述旁路导管(25)打开。

9.如前述权利要求中任一项所述的嗅吸测漏器，其特征在于备用模式，在所述备用模式中所述旁通导管(26)打开，并且所述旁路导管(25)打开。

10.如前述权利要求中任一项所述的嗅吸测漏器，其特征在于污染防护模式，在所述污染防护模式中所述旁通导管(26)和所述旁路导管(25)打开，所述通流阀(V3)短暂地打开，并且所述污染防护阀(V4)打开。

11.如前述权利要求中任一项所述的嗅吸测漏器，其特征在于“大泄漏模拟”模式，在所述“大泄漏模拟”模式中所述旁通导管(26)，所述旁路导管(25)以及所述通流阀(V3)关闭。