[发明专利]高反射镜及其制造方法

说明书

技术领域

本发明特别涉及一种适用于手机等的小型液晶显示器用背光源模块的高反射镜及其制造方法。

背景技术

目前，用于平板显示器(flatpanel display)等电子器件的反射镜，普遍使用的是利用金属膜进行反射的反射镜。为了改善电子器件的辉度以及节省能量，需要提高反射镜的反射率。如，用于手机等的液晶显示器，使用反射背光的镜，此类反射镜为了轻便其基板使用薄膜(film)。同时，液晶显示器用反射镜应具有高反射率。

反射镜的金属膜材料，以往通常使用铝。但是，使用铝的金属膜材料时，其反射率随光入射角变化，发生反射色分散的问题。并且已知，层叠低折射率膜和高折射率膜，构成多层结构可有效提高反射率。而且通过所述的多层结构还有望提高耐擦伤性等，但存在成膜工艺较复杂的问题。

为了解决上述技术问题，使用在可见光域的反射率高于铝的银作为金属膜材料。但是，虽然银与铝相比可见光域的反射率高，但与薄膜基板的结合性差，因此存在耐湿性及耐盐水性等耐久性较差的问题。

公开了一种高反射镜，该高反射镜以Ag膜为金属膜，具有高反射率及高耐久性，在玻璃基板上按照AL₂O₃膜、Ag膜、AL₂O₃膜、TiO₂膜的顺序积层(如参考专利文献1)。但是，该高反射镜制造Ag膜的与基板相反侧上的AL₂O₃膜时，由于导入氧气，导致银易被氧化，从而降低反射率。

另外，公开了一种为了改善Ag膜与基板的结合性，Ag中混合Ce、这类Nd金属的反射膜(如参考专利文献2)。但是，该反射膜是银的单膜，仅记载了Ag膜和基板的结合性，没有记载关于Ag膜和其他层的结合性的任何评价。

另外，公开了一种在Ag膜上形成有AL₂O₃膜、ZrO₂膜、SiO₂膜的反射镜(如参考专利文献3)。其中记载了，AL₂O₃膜是提高Ag膜的耐久性的保护膜，ZrO₂膜是提高反射效率的膜，SiO₂膜是保护膜。还公开了一种为了提高基板和Ag膜的结合性，在基板和Ag膜之间形成由氧化铬构成的膜的技术方案(如参考专利文献4)。并且还记载了在Ag膜上形成AL₂O₃膜，为了更加提高耐久性，设置氧化锆、二氧化硅、氧化钛、氧化铪，氧化锡、氧化锑、氧化钨等层的技术方案。(如参考专利文献5)。还公开了，为了提高耐久性，在基板和Ag膜之间设有由氧化硅形成的基底膜(如参考专利文献6)。但是，这些反射膜均存在可见光域的反射率较低的问题。

另外，还公开了一种为了提高与基板的结合性，在Ag膜与基板之间形成金属铬、镍、钛系合金膜的反射镜(如参考专利文献7)。但，该反射镜是仅基底膜和Ag膜构成的层叠结构，对作为保护膜将氯乙烯等薄膜层合之后的结合性进行评价，但对由氧化物膜形成保护膜的结构没有进行评价。

最近，随着手机等的使用用途及使用目的多样化，要求液晶显示器具有在更加苛刻的环境下使用时的耐久性要求。例如，公开了一种为了提高反射镜对硫化氢的耐性，利用氧化铝膜，把Ag膜夹成夹心状的由银形成的反射膜(如，参考专利文献8)。但是，该专利文献8，作为氧化铝膜的制作方法，实施例中记载了使用氧化铝颗粒。该方法中存在，氧化铝附着于银膜时银被氧化，难以获得高反射率的问题。

专利文献1：日本专利特开2003-4919号公报

专利文献2：日本专利特开2002-226927号公报

专利文献3：日本专利特开2002-200700号公报

专利文献4：日本专利特开2002-55213号公报

专利文献5：日本专利特开平2-109003号公报

专利文献6：日本专利特开2001-343510号公报

专利文献7：日本专利特开2003-297122号公报

专利文献8：日本专利特开2003-329818号公报

发明的揭示

本发明的目的是提供一种在可见光域内具有高反射率、耐湿性、特别是置于高温高湿的环境之后仍能维持高反射率，并且对硫化氢具有高耐性的高反射镜及其制造方法。