[发明专利]探针卡及其制造方法无效
| 申请号： | 200680009115.0 | 申请日： | 2006-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN101164152A | 公开（公告）日： | 2008-04-16 |
| 发明（设计）人： | 李亿基 | 申请（专利权）人： | 飞而康公司;李亿基 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海恩田旭诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 尹洪波 |
| 地址： | 大韩民*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 探针 及其 制造 方法 | ||
1.一种探针卡，包括：
包括第一导电线路的第一微探头(MPH)，所述导电线路中输入有测试信号，所述测试信号用于测试具有外端子的对象；
与所述第一MPH可拆分地结合的第二MPH，所述第二MPH包括与所述第一导电线路电连接并且与所述外端子相对应的第二导电线路；及
与所述第二导电线路电连接的探针，所述探针与所述外端子接触。
2.如权利要求1所述的探针卡，进一步包括置于所述第一与第二导电线路之间以使所述第一与第二线路互相电连接的导电部件。
3.如权利要求2所述的探针卡，其特征在于，所述导电部件包括弹性金属。
4.如权利要求3所述的探针卡，其特征在于，所述弹性金属包括焊料。
5.如权利要求2所述的探针卡，进一步包括置于所述第一与第二MPH之间以容纳所述导电部件的支撑板。
6.如权利要求1所述的探针卡，进一步包括插入于所述第一与第二MPH之间以使所述第一与第二MPH互相可拆分地结合的结合部件。
7.如权利要求6所述的探针卡，其特征在于，所述连结部件包括三个垂直插入于所述第一及第二MPH的三个边缘部以调整所述第一及第二MPH水平线的螺钉。
8.一种制造探针卡的方法，包括：
制备第一MPH，其包括第一导电线路，所述导电线路中输入有测试信号，所述测试信号用于测试具有外端子的对象；
制备第二MPH，其包括与所述外端子相对应的第二导电线路；
可拆分地结合所述第一MPH与第二MPH以使所述第一导电线路与所述第二导电线路电连接；及
在所述第二导电线路上形成探针，所述探针与所述外端子接触。
9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，结合所述第一与第二MPH包括使用导电部件电连接所述第一及第二导电线路。
10.如权利要求8所述的方法，其特征在于，使用至少一个螺钉使所述第一及第二MPH互相结合。
11.如权利要求8所述的方法，其特征在于，形成所述探针包括：
在牺牲基底上形成图形；
在所述牺牲基底的表面部分使用所述图形作为蚀刻掩膜对所述牺牲基底部分蚀刻以形成凹陷，所述凹陷的形状与所述探针的形状相对应；
将导电材料填充到所述凹陷中，以在所述凹陷中形成探针；
分别将所述探针与所述第二导电线路连结；及
去除所述牺牲基底。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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