[发明专利]图像投影器

权利要求书

1.一种图像投影器，包括：

相干光源；

准直透镜，对来自所述相干光源的相干光进行准直以形成准直相干光；

投影器光学系统，对准直相干光进行投影；

反射元件，反射准直相干光，并且能够与所述反射元件的反射表面的法向平行地振动；以及

反射元件驱动单元，驱动所述反射元件进行振动运动。

2.根据权利要求1所述的图像投影器，还包括第一漫射元件，所述第一漫射元件对准直相干光进行漫射，将所述第一漫射元件设置在所述准直透镜和所述反射元件之间的准直相干光的光路上。

3.根据权利要求1所述的图像投影器，还包括第一漫射元件，所述第一漫射元件对准直相干光进行漫射，将所述第一漫射元件形成于所述反射元件的反射表面上。

4.根据权利要求2或3所述的图像投影器，还包括第二漫射元件，所述第二漫射元件对光进行漫射，将所述第二漫射元件设置在所述反射元件和所述投影器光学系统之间的准直相干光的光路上。

5.根据权利要求4所述的图像投影器，其中所述第一漫射元件和所述第二漫射元件是层叠于所述反射器件的反射表面上的单一漫射元件。

6.根据权利要求1所述的图像投影器，其中所述反射元件驱动单元驱动所述反射元件沿所述反射元件的主表面的法向往复地振动运动。

7.根据权利要求1所述的图像投影器，其中所述反射元件驱动单元驱动所述反射元件绕转动中心轴进行转动振动运动，所述转动中心轴在与所述反射元件的主表面平行的平面中。

8.根据权利要求6所述的图像投影器，其中所述反射元件的振动范围大于等于在所述第一漫射元件的表面上形成的、并且用于光漫射的凹凸轮廓的最大周期的倍。

9.根据权利要求2所述的图像投影器，其中所述第一漫射元件的漫射角小于等于角度arcsin(NA)，NA是所述投影器光学系统的透镜单元的数值孔径。