[实用新型]多轴控制大尺寸划片切割机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种切割设备，特别是涉及一种由计算机控制的高效率多轴控制大尺寸划片切割机。

背景技术

随着我国半导体工业的发展，电子工业材料的尺寸也向大型化发展，例如，单晶硅已经从传统的4″，6″发展到目前的16″；电子玻璃，电子陶瓷等产品的尺寸也越来越大。为了适应市场的变化，必须开发更大的切割设备。目前市场上广泛使用的是日本、美国的进口产品，结构复杂，价格昂贵；申请人已有的4″划片切割机虽然已广泛使用，但因加工尺寸的局限性已经不能满足市场的需要。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种多轴控制大尺寸划片切割机，由步进电机控制X，Y，Z轴的运动，刀片可到达设计空间的各个点，可实现X轴、Y轴、Z轴、主轴、载样台五轴联动，实现全自动划片切割。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：

多轴控制大尺寸划片切割机，包括有主轴、载样台、机架、控制中心、步进电机和伺服电机，X轴、Y轴、Z轴安装在机架上，均与相应X轴步进电机、Y轴步进电机、Z轴步进电机相连接，主轴与X轴相互平行，并与Z轴垂直连接，切割刀安装在主轴上，载样台与主轴相互配合，分别与伺服电机相连接，控制中心与步进电机控制装置和伺服电机控制装置相连接。

本实用新型的优点与效果是：

1.本实用新型由步进电机控制X、Y、Z轴的运动，保证刀片可以到达设计空间的各个点，使切割更加精确。

2.本实用新型的主轴由伺服电机驱动，刀片到达指定点后，主轴就可以按照程序进行划片切割，其划片切割尺寸可达到12英寸。

3.本实用新型载样台可以按照程序适时转动需要的角度，实现X、Y、Z、主轴、载样台五轴联动，全自动划片切割。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

具体实施方式

本实用新型采用龙门结构，包括有主轴4、载样台5、机架、控制中心6、步进电机和伺服电机。X轴、Y轴、Z轴安装在机架上，X轴、Y轴、Z轴均与相应的X轴步进电机1、Y轴步进电机2、Z轴步进电机3相连接，通过步进电机控制X轴、Y轴、Z轴的运动，主轴与X轴相互平行，并与Z轴垂直连接，切割刀安装在主轴上，主轴由伺服电机控制，载样台与主轴相互配合，载样台由伺服电机进行控制，主轴与载样台可分别按照伺服电机的控制程序适时转动需要的角度，实现大尺寸划片切割，控制中心与步进电机控制装置和伺服电机控制装置相连接，在控制中心的控制下，由步进电机控制X、Y、Z轴的运动，使刀片可以到达设计空间的各个点，主轴由伺服电机驱动，当刀片到达指定位置后，主轴可按照程序进行划片切割，同时由伺服电机驱动的载样台可按照程序适时转动需要的角度，本实用新型可以实现X、Y、Z、主轴、载样台五轴联动，达到全自动大尺寸划片切割的目的。

本实用新型的主轴和载样台采用伺服控制系统，满足了主轴和载样台快速变化的需要；X、Y、Z轴采用步进控制系统，满足了X、Y、Z轴速度变化不快，但要求准确的需要。