[实用新型]等离子体发生装置无效
| 申请号： | 200620068363.X | 申请日： | 2006-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN2867790Y | 公开（公告）日： | 2007-02-07 |
| 发明（设计）人： | 李衎 | 申请（专利权）人： | 李衎 |
| 主分类号： | H05H1/40 | 分类号： | H05H1/40;H05H1/50;H01J37/32;H01L21/00 |
| 代理公司： | 合肥诚兴知识产权代理有限公司 | 代理人： | 汤茂盛 |
| 地址： | 230022安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 发生 装置 | ||
【说明书】：
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