[发明专利]一种不锈钢制品及其制备方法

权利要求书

1.一种不锈钢制品，该不锈钢制品包括不锈钢基材和位于不锈钢基材表面的薄膜，其特征在于，所述薄膜包括底层、中间层和面层，所述底层为不锈钢，中间层为不锈钢与非铁金属的合金，面层为不锈钢与非铁金属的合金的碳化物或氮化物。

2.根据权利要求1所述的制品，其中，所述底层的厚度为0.1-0.8微米，所述中间层的厚度为0.1-0.8微米，所述面层的厚度为2-7微米。

3.根据权利要求1所述的制品，其中，在中间层中，所述非铁金属为铜、镍、铬、铝和钛中的一种或几种。

4.根据权利要求1所述的制品，其中，在面层中，所述非铁金属为铜、镍、铬、铝和钛中的一种或几种。

5.根据权利要求1所述的制品，其中，中间层中的非铁金属与面层中的非铁金属的种类相同。

6.一种不锈钢制品的制备方法，该方法包括在溅射条件下，在磁控靶上施加电源使磁控靶的靶材物质溅射并沉积在不锈钢基材上形成薄膜，其特征在于，所述薄膜包括底层、中间层和面层，所述底层为不锈钢，中间层为不锈钢与非铁金属的合金，面层为不锈钢与非铁金属的合金的碳化物或氮化物。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，所述溅射条件包括压力为0.1-1.0帕，温度为20-200℃，电源的功率为8-20千瓦。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，在形成底层时，所述溅射条件还包括所述溅射在惰性气体气氛下进行，所述靶材物质为不锈钢，溅射时间为2-15分钟。

9.根据权利要求7所述的方法，其中，在形成中间层时，所述溅射条件还包括所述溅射在惰性气体气氛下进行，所述靶材物质为不锈钢和非铁金属，所述非铁金属为铜、镍、铬、铝和钛中的一种或几种，施加在不锈钢磁控靶和非铁金属磁控靶上的电源的功率的比值为1.1-1.6，溅射时间为2-15分钟。

10.根据权利要求7所述的方法，其中，在形成面层时，所述溅射条件还包括所述溅射在氮气或气态烃气氛下进行，所述靶材物质为不锈钢和非铁金属，所述非铁金属为铜、镍、铬、铝和钛中的一种或几种，施加在不锈钢磁控靶和非铁金属磁控靶上的电源的功率的比值为1.1-1.6，溅射时间为60-240分钟。