[发明专利]研磨垫打磨器

权利要求书

1.一种研磨垫打磨器，包括研磨垫打磨器手臂，固定在研磨垫打磨器手臂端部的研磨垫打磨器打磨头，设置在研磨垫打磨器打磨头下方的研磨垫打磨器打磨盘，其特征在于，所述的研磨垫打磨器打磨头中设有通孔，位置传感器通过固定件垂直于研磨垫打磨器打磨盘设置在通孔中，位置传感器通过信号线和主机相连接，并且位置传感器和主机之间设有继电器，当主机的可编程控制器发出研磨垫打磨器打磨盘下降的信号时，继电器导通，位置传感器测试掩膜垫打磨器打磨盘和位置传感器之间的距离，若所测得距离大于设定值，传感器信号线无输出信号，若所测得距离小于设定值，传感器信号线输出信号到主机的可编程控制器，主机停止并发出报警，研磨垫打磨器打磨头上设有遮挡片，检测遮挡片的遮光传感器固定设置在研磨垫打磨器手臂上，遮光传感器通过信号线和主机相连接，当主机的可编程控制器发出信号并使研磨垫打磨器打磨盘旋转一转，遮挡片挡住遮光传感器一次，遮光传感器产生一个电压脉冲信号，该电压脉冲信号通过信号线传输到主机的可编程控制器，可编程控制器记录脉冲数量，和主机的设定量进行比较，当可编程控制器记录的脉冲数量不等于主机的设定量，可编程控制器输出导通信号给主机，主机停止并发出报警。

2.如权利要求1所述的研磨垫打磨器，其特征在于，位置传感器为反射型传感器。

3.如权利要求1所述的研磨垫打磨器，其特征在于，位置传感器的检知距离为15mm，并且打磨盘在上死位时距离位置传感器检知头部10cm，在下死位时距离位置传感器检知头部30mm。

4.如权利要求1所述的研磨垫打磨器，其特征在于，遮光传感器为对射型传感器。

5.如权利要求1所述的研磨垫打磨器，其特征在于，位置传感器头部设有一经过掩膜垫打磨器打磨头和掩膜垫打磨器手臂的通道，该通道与持续吹出氮气的管道相连接。