[发明专利]硅基螺旋电感器件等效电路双∏非对称模型参数的提取方法

权利要求书

1.一种硅基在片螺旋电感器件的等效电路模型参数的提取方法，本方法是通过测量的S-参数，根据非对称双∏等效电路模型，利用特征函数的解析法提取等效电路各元件参数值。

2.根据权利要求1所述的方法，把双∏非对称等效电路如图2看成两个单∏电路的组合。这两个单∏电路分别由Y_s1和Y_sub1，Y_s2和Y_sub2组成。Y_s1由R_s1，L_s1，C_p1，R₁，L₁组成，Y_sub1由R_sub1，C_sub1，C_ox1组成，Y_s2由R_s2，L_s2，C_p2，R₂，L₂组成，Y_sub2由R_sub2，C_sub2，C_ox2组成。

3.根据权利要求2所述的方法，‘Y_s1，Y_s2和Y_sub1，Y_sub2两部分的等效电路可以是非对称的。

4.根据权利1及其附属条件2和3所述方法，利用ABCD矩阵的转化，可将测试的S-参数转化为Y_s1，Y_s2，和Y_sub1，Y_sub2。A＝A₁×A₂，其中，$A_1=\left[\begin{array}{cc}{a}_1& b_1\\ c_1& d_1\end{array}\right]=\left[\begin{array}{cc}-Y_{22}^1/Y_{21}^1& -1/Y_{21}^1\\ -\det Y^1/Y_{21}^1& -Y_{11}^1/Y_{21}^1\end{array}\right],$

$A_2=\left[\begin{array}{cc}{a}_2& b_2\\ c_2& d_2\end{array}\right]=\left[\begin{array}{cc}-Y_{22}^2/Y_{21}^2& -1/Y_{21}^2\\ -\det Y^2/Y_{21}^2& -Y_{11}^2/Y_{21}^2\end{array}\right],$

通过将S参数转换成ABCD矩阵从而求得A₁，A₂。