[发明专利]低损耗可调谐铁电器件及表征方法

权利要求书

1.一种可调谐铁电电容器，其包括：

第一导电表面；

第二导电表面，所述第一与第二导电表面构成一个电容器；

接近所述第一与第二导电表面的铁电材料；

与铁电材料耦合的可变电压的导线，其用于响应施加到所述可变电压导线上的电压而改变电容器的电容，所述电容器的电容响应于铁电材料的介电常数的改变而改变；

其中当电容器工作于-50摄氏度到100摄氏度温度范围内时，在0.25GHz-7.0GHz频率范围内电容器的品质因数Q大于80。

2.如权利要求1所述的可调谐铁电电容器，其特征在于，当工作温度范围是从-50摄氏度到100摄氏度时，在0.8GHz-7.0GHz频率范围内的所述品质因数大于80。

3.如权利要求1所述的可调谐铁电电容器，其特征在于，当工作温度范围是从-50摄氏度到100摄氏度时，在0.25GHz-2.5GHz频率范围内的所述品质因数大于80。

4.如权利要求1所述的可调谐铁电电容器，其特征在于，当工作温度范围是从-50摄氏度到100摄氏度时，在0.8GHz-2.5GHz频率范围内的所述品质因数大于80。

5.如权利要求1所述的可调谐铁电电容器，其特征在于，当工作温度范围是从-50摄氏度到100摄氏度时，在0.25GHz-7.0GHz频率范围内的所述品质因数大于180。

6.如权利要求1所述的可调谐铁电电容器，其特征在于，当工作温度范围是从-50摄氏度到100摄氏度时，在0.8GHz-2.5GHz频率范围内的所述品质因数大于180。

7.如权利要求1所述的可调谐铁电电容器，其特征在于，当工作温度范围是从-50摄氏度到100摄氏度时，在0.3pF-3.0pF范围内的电容的品质因数大于80。

8.如权利要求1所述的可调谐铁电电容器，其特征在于，当工作温度范围是从-50摄氏度到100摄氏度时，在0.5pF-1.0pF范围内的电容的品质因数大于80。

9.如权利要求1所述的可调谐铁电电容器，其特征在于，当工作温度范围是从-50摄氏度到100摄氏度时，在0.3pF-3.0pF范围内的电容的品质因数大于180。

10.如权利要求1所述的可调谐铁电电容器，其特征在于，当工作温度范围是从-50摄氏度到100摄氏度时，在0.5pF-1.0pF范围内的电容的品质因数大于180。

11.如权利要求1所述的可调谐铁电电容器，其特征在于，当施加到铁电材料上的电压为零时，电容器的电容为0.8-1.5pF。

12.如权利要求1所述的可调谐铁电电容器，其特征在于，所述铁电材料包括钛酸锶钡。

13.如权利要求1所述的可调谐铁电电容器，其特征在于，所述铁电材料是厚度为一个微米的薄膜。

14.如权利要求1所述的可调谐铁电电容器，其特征在于，所述电容器是微带间隙电容器。

15.如权利要求14所述的可调谐铁电电容器，其特征在于，所述第一导电表面和第二导电表面被2.5微米宽的间隙分隔开。

16.如权利要求1所述的可调谐铁电电容器，其特征在于，所述第一导电表面和第二导电表面是厚度范围在2-3微米之间的金属层。

17.如权利要求1所述的可调谐铁电电容器，其特征在于，所述电容器是叠层电容器。

18.如权利要求1所述的可调谐铁电电容器，其特征在于，所述第二导电表面包括金或银。

19.一种可调谐铁电叠层电容器，包括：

电容器衬垫层，其具有电容器衬垫部分、第一电容器部分以及第一锥形部分；

偏压衬垫层，其具有偏压衬垫部分、第二电容器部分以及第二锥形部分；及

铁电层，其位于所述第一电容器部分与所述第二电容器部分之间，

其中，所述第一和第二锥形部分在1.0mils的距离中从4.0mils锥形缩小至0.25mils。