[发明专利]制造硅单晶的方法无效
| 申请号： | 200610092779.X | 申请日： | 2006-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN1932085A | 公开（公告）日： | 2007-03-21 |
| 发明（设计）人： | 岸田丰;竹林圣记;玉木辉幸 | 申请（专利权）人： | 硅电子股份公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 程大军;过晓东 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制造 硅单晶 方法 | ||
【权利要求书】：
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