[发明专利]钻石镀膜的制造方法及其应用无效
| 申请号: | 200610087263.6 | 申请日: | 2006-06-14 |
| 公开(公告)号: | CN101089221A | 公开(公告)日: | 2007-12-19 |
| 发明(设计)人: | 张孝国 | 申请(专利权)人: | 中国砂轮企业股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/27 | 分类号: | C23C16/27;C23C16/01;C23C16/52 |
| 代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 梁挥;徐金国 |
| 地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 钻石 镀膜 制造 方法 及其 应用 | ||
1.一种钻石镀膜的制造方法,其特征在于,包含下列步骤:
提供一底材,该底材的耐热范围为200℃~400℃;
于该底材上涂布一粉末的转换层;
于该转换层上涂布一钻石膜,并由该转换层提高该钻石膜的涂布均匀性;及
加热使该钻石膜镀膜于该转换层,并使该底材热分解。
2.根据权利要求1所述钻石镀膜的制造方法,其特征在于,该底材为高分子材料。
3.根据权利要求1所述钻石镀膜的制造方法,其特征在于,该底材的厚度范围为0.05mm~30mm。
4.根据权利要求1所述钻石镀膜的制造方法,其特征在于,该转换层的厚度范围为0.01μm~100μm。
5.根据权利要求1所述钻石镀膜的制造方法,其特征在于,该转换层为碳质薄膜。
6.根据权利要求5所述钻石镀膜的制造方法,其特征在于,该碳质薄膜的材料选自类钻石、非晶碳、纳米结晶钻石所成组合。
7.根据权利要求1所述钻石镀膜的制造方法,其特征在于,该转换层为金属薄膜。
8.根据权利要求7所述钻石镀膜的制造方法,其特征在于,该金属薄膜的材料选自钼、钛、钨、铬、铜所成组合。
9.根据权利要求1所述钻石镀膜的制造方法,其特征在于,该转换层为陶瓷薄膜。
10.根据权利要求9所述钻石镀膜的制造方法,其特征在于,该陶瓷薄膜的材料选自碳化硅(SiC)、碳化钛(TiC)、碳化铬(CrC)、碳化钨(WC)、氮化硼(BN)、碳化硼(B4C)、氮化硅(Si3N4)、氮化钛(TiN)、氮化铬(CrN)、硅碳氮化合物(SiCN)、硼碳氮(BCN)所成组合。
11.根据权利要求1所述钻石镀膜的制造方法,其特征在于,该钻石膜的厚度范围为1μm~500μm。
12.根据权利要求1所述钻石镀膜的制造方法,其特征在于,该加热使该钻石膜镀膜于该转换层,并使该底材热分解的步骤,加热至600℃以上。
13.根据权利要求1所述钻石镀膜的制造方法,其特征在于,该加热使该钻石膜镀膜于该转换层,并使该底材热分解的步骤之后,还包含有利用机械研磨的方式清除该底材的步骤。
14.根据权利要求1所述钻石镀膜的制造方法,其特征在于,该加热使该钻石膜镀膜于该转换层,并使该底材热分解的步骤之后,还包含有利用溶剂腐蚀的方式清除该底材的步骤。
15.根据权利要求1所述钻石镀膜的制造方法,其特征在于,该加热使该钻石膜镀膜于该转换层,并使该底材热分解的步骤之后,还包含有利用光化学解离的方式清除该底材的步骤。
16.一种振动膜,其特征在于,利用权利要求1所述的钻石镀膜的制造方法所制成,包含下列步骤:
提供一底材,该底材的耐热范围为200℃~400℃;
于该底材上涂布一粉末的转换层;
于该转换层上涂布一钻石膜,并由该转换层提高该钻石膜的涂布均匀性;及
加热使该钻石膜镀膜于该转换层,并使该底材热分解。
17.一种修整器,包含有一基材以及一钻石薄膜,其特征在于,该钻石薄膜利用权利要求1所述的钻石镀膜的制造方法所制成,包含下列步骤:
提供一底材,该底材的耐热范围为200℃~400℃;
于该底材上涂布一粉末的转换层;
于该转换层上涂布一钻石膜,并由该转换层提高该钻石膜的涂布均匀性;及
加热使该钻石膜镀膜于该转换层,并使该底材热分解。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





