[发明专利]偏振光照射装置无效
| 申请号： | 200610074623.9 | 申请日： | 2006-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN1854900A | 公开（公告）日： | 2006-11-01 |
| 发明（设计）人： | 中村征司;田中米太;辻宏二 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027;G02F1/1337 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈英俊 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 偏振光 照射 装置 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于优志旺电机株式会社，未经优志旺电机株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200610074623.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于加工光学工件的车床
- 下一篇：益生菌的贮存和递送
