[发明专利]电子束扫描均匀性测量系统无效
| 申请号： | 200610022181.3 | 申请日： | 2006-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN1987521A | 公开（公告）日： | 2007-06-27 |
| 发明（设计）人： | 何小海;刘平;唐大伟;詹家学;张惠君;赵建华;李琦;贾朝伟;肖德鑫;郭嘉 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院环境保护工程研究中心 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29;H05H7/00;H01J37/00;H01J49/00 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 | 代理人： | 翟长明;韩志英 |
| 地址： | 621900四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子束 扫描 均匀 测量 系统 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国工程物理研究院环境保护工程研究中心，未经中国工程物理研究院环境保护工程研究中心许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200610022181.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：短行程液压翻卷机
- 下一篇：蔬菜面皮饺子及其生产方法
