[发明专利]增透硬掩膜组合物和该组合物的使用方法

权利要求书

1.一种增透硬掩膜组合物，该组合物含有：

(a)含有第一聚合物和第二聚合物的聚合物混合物，

所述第一聚合物含有如下单体单元中的一种或几种：

其中，A为选自由羰基、氧、亚烃基、氟代亚烃基、苯二氧基、以及它们的任意组合所组成的组中的二价基团；R₁和R₂各自独立地为选自由亚烃基、亚芳基、以及它们的任意组合所组成的组中的二价基团；x、y和z为0或整数，其中，y+z＞0且x≥0，

所述第二聚合物含有芳基；

(b)交联组分；以及

(c)酸催化剂。

2.根据权利要求1所述的组合物，其中，x为0-5，1≤y+z＜1000。

3.根据权利要求1所述的组合物，其中，所述第一聚合物的一个或多个羧基被原酰胺环化而形成二酰胺。

4.根据权利要求1所述的组合物，其中，A为选自由羰基、氧、亚甲基、二(三氟甲基)亚甲基和苯二氧基所组成的组中的二价基团，且x等于0或1。

5.根据权利要求1所述的组合物，其中，R₁和/或R₂为下式的二价基团：

其中，R₃和R₄各自独立地为氢或甲基。

6.根据权利要求1所述的组合物，其中，R₁和R₂各自独立地为选自由亚烃基、亚芳基、以及它们的任意组合所组成的组中的二价基团，其中，所述亚烃基和亚芳基含1-20个碳原子。

7.根据权利要求1所述的组合物，该组合物含有约1-20重量％的所述聚合物混合物、约0.1-5重量％的所述交联组分和约0.001-0.05重量％的所述酸催化剂。

8.根据权利要求1所述的组合物，该组合物还含有溶剂。

9.根据权利要求1所述的组合物，该组合物还含有表面活性剂。

10.根据权利要求1所述的组合物，其中，所述交联组分选自由三聚氰胺树脂、氨基树脂、甘脲化合物、二环氧化合物、以及它们的任意组合所组成的组中。

11.根据权利要求1所述的组合物，其中，所述酸催化剂选自由一水合对甲苯磺酸、对甲苯磺酸吡啶鎓、2，4，4，6-四溴环己二烯酮、有机磺酸的烃基酯、以及它们的任意组合所组成的组中。

12.根据权利要求11所述的组合物，其中，所述有机磺酸的烃基酯选自由苯偶姻甲苯磺酸酯、2-硝基苯甲基甲苯磺酸酯、以及它们的任意组合所组成的组中。

13.根据权利要求1所述的组合物，其中，所述第二聚合物含有如下单体单元：

R₅和R₆各自独立地为氢或甲基；

R₇和R₈各自独立地选自由氢、交联官能团、发色团、以及它们的任意组合所组成的组中；R₉选自由亚烃基、苯基二亚烃基、羟苯基亚烃基、以及它们的任意组合所组成的组中；n为整数。

14.根据权利要求13所述的组合物，其中，x为0-5，1≤y+z＜1000，而且n为1-190。

15.根据权利要求13所述的组合物，其中，所述第一聚合物的一个或多个羧基被原酰胺环化而形成二酰胺。

16.根据权利要求13所述的组合物，其中，A选自由羰基、氧、亚甲基、二(三氟甲基)亚甲基、苯二氧基、以及它们的任意组合所组成的组中，且x等于0或1。

17.根据权利要求13所述的组合物，其中，R₁和/或R₂为下式的二价基团：

其中，R₃和R₄各自独立地为氢或甲基。