[发明专利]用于高频测量的探针头有效

申请号：	200580040909.9	申请日：	2005-11-21
公开（公告）号：	CN101076734A	公开（公告）日：	2007-11-21
发明（设计）人：	斯蒂芬·西斯;迈克尔·沃利特策	申请（专利权）人：	罗森伯格高频技术有限及两合公司
主分类号：	G01R1/067	分类号：	G01R1/067
代理公司：	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人：	赵科
地址：	德国弗***	国省代码：	德国;DE
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摘要：
搜索关键词：	用于高频测量探针
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【权利要求书】：

1.一种用于高频测量的接触装置，具有用于与平面结构电接触的接触端(12)，其中在接触端(12)处设置具有至少两个由电介质 (10)支承的导体(14)的共面导体结构，其中在电介质(10)与接触端(12)之间构造探针头以使得空间自由地并且对于保持电介质(10) 弹性地设置共面导体结构的导体(14)，其特征在于，

在电介质(10)上设置至少一个用于传输电信号的装置(24)，所述用于传输电信号的装置(24)与共面导体结构的至少一个导体(14) 电连接以使得该用于传输电信号的装置(24)传输来自至少一个与所述用于传输电信号的装置(24)电连接的导体(14)的信号，其中在共面导体结构的每两个导体(14)之间，在共面导体结构的整个长度上，构造各缝隙以使得在共面导体结构的长度上产生恒定的特性阻抗；

所述接触装置包括具有同轴导体结构的同轴缆线端(16)，其中所述用于传输电信号的装置(24)与同轴导体结构的至少一个同轴缆线接头(18)相连以使得所述用于传输电信号的装置(24)在至少一个与所述用于传输电信号的装置(24)电连接的导体(14)和同轴导体结构的至少一个与所述用于传输电信号的装置(24)电连接的同轴缆线接头(18)之间传输信号；以及

所述电介质(10)延伸直到同轴缆线端(16)。

2.如权利要求1所述的接触装置，其特征在于，在所述电介质 (10)上设置至少一个用于分接电信号的触点，其中所述用于传输电信号的装置(24)被设置和构造为使得所述用于传输电信号的装置(24) 将至少一个与所述用于传输电信号的装置(24)电连接的导体(14) 的电信号传输到触点。

3.如权利要求1或2所述的接触装置，其特征在于，所述用于传输电信号的装置(24)是电子电路。

4.如权利要求1所述的接触装置，其特征在于，在所述同轴缆线端(16)处，两个或更多个用于与相应同轴缆线连接的同轴缆线接头(18)被设置，并且与所述用于传输电信号的装置(24)电连接。

5.如权利要求1或2所述的接触装置，其特征在于，所述用于传输电信号的装置(24)包括重接线、匹配网络和有源电路。

6.如权利要求1或2所述的接触装置，其特征在于，在所述电介质(10)处，至少一个直流触点(20)被设置，并且与用于传输电信号的装置(24)电连接。

7.如权利要求1或2所述的接触装置，其特征在于，在所述电介质(10)处，设置用于操纵器的保持件(92)。

8.如权利要求1或2所述的接触装置，其特征在于，共面导体结构的导体(14)通过焊接和/或点焊连接与用于传输电信号的装置 (24)的各印制导线(26)电连接。

9.如权利要求1或2所述的接触装置，其特征在于，所述接触装置用于测量探头或测量头。

10.如权利要求1或2所述的接触装置，其特征在于，所述高频测量在半导体晶片上执行。

11.如权利要求1或2所述的接触装置，其特征在于，所述用于传输电信号的装置(24)包括重接线和匹配网络。

12.如权利要求1或2所述的接触装置，其特征在于，所述用于传输电信号的装置(24)包括重接线和有源电路。