[发明专利]一种由具有不同输出性能特征的激光器提供质量一致的靶材料去除的方法

权利要求书

1.一种一致地满足质量衡量的方法，该质量衡量是为由从一组激 光器中不同激光器发出的激光输出脉冲加工的靶样品材料的区域规定 的，在加工靶样品材料之前，激光输出脉冲特征为有由脉冲宽度和峰值 功率值确定的额定脉冲能量值，该方法包括：

为靶样品材料被激光加工的区域规定质量衡量；和

调整激光输出脉冲的额定脉冲能量值，从而为该组中每个激光器建 立调整的能量值，该能量值使由激光输出脉冲加工的靶样品材料的区域 一致地满足所规定的质量衡量，额定脉冲能量值的调整包括为该组中激 光器确定表示规定的质量衡量的比率，其被表示为

Fτ,]]>

其中F和τ分别是激光脉冲的能量密度和脉冲宽度。

2.如权利要求1所述的方法，其中该组中每个激光器发射一系列 激光输出脉冲，并进一步包括改变一个或多个激光器的系列中激光输出 脉冲的数目，从而响应对于调整的能量值的偏离进行的检测，加工靶样 品材料的相关区域。

3.如权利要求1所述的方法，其中激光加工靶样品材料从而在靶 样品材料区域的一个区域中形成孔。

4.如权利要求3所述的方法，其中靶样品材料包括能够由激光脉 冲烧蚀的靶材料，其具有被金属覆层覆盖的主表面，且其中所述质量衡 量包括关于去除可烧蚀的靶材料从而形成孔的金属覆层的表面条件。

5.一种一致地满足质量衡量的方法，该质量衡量是为由从一个激光 器发出的激光输出脉冲加工的靶样品材料的区域规定的，该激光器在输 出性能规格范围内运行，该激光器发射一系列输出脉冲，每个脉冲的特 征是额定能量值和实际脉冲宽度，该方法包括：

规定质量衡量，该质量衡量是关于完成激光加工的靶样品材料的区 域所满足的；和

乘以一个参数来比例激光输出脉冲的额定能量值，从而提供一系列 具有比例能量值的输出脉冲来加工靶样品材料的区域，该参数是激光输 出脉冲的实际脉冲宽度的函数，并且每个具有比例能量值的激光脉冲覆 盖靶面积，并且所述参数被表示为

Fτ,]]>

其中F和τ分别是激光脉冲的能量密度和脉冲宽度。

6.如权利要求5的方法，其中激光加工靶样品材料从而在区域中形 成孔。

7.如权利要求6的方法，其中靶样品材料包括能够由激光脉冲烧蚀的 靶材料，其具有被金属覆层覆盖的主表面，且其中所述质量衡量包括关于 去除可烧蚀的靶材料从而形成孔的金属覆层的表面条件。

8.一种一致地满足质量衡量的方法，该质量衡量是为一个激光器规 定的，该激光器发射靶样品加工脉冲激光束以加工靶样品材料，该方法 包括：

确定由激光器发射的额定脉冲光束的额定脉冲能量值，该额定脉冲 能量值是由额定脉冲光束的脉冲宽度和峰值功率值得出的；和

乘以一个参数来比例额定脉冲能量值，以产生靶样品加工脉冲激光 光束，该光束具有对应于质量衡量的比例激光脉冲能量值，该参数被表 示为其中F是从入射到靶面积上的额定脉冲光束的激光脉冲的峰值 功率值计算出的能量密度，τ是额定脉冲光束的脉冲的脉冲宽度。