[发明专利]正型感光性树脂组合物、使用该组合物的浮雕图形以及固体成象元件有效
| 申请号： | 200580007934.7 | 申请日： | 2005-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN1930522A | 公开（公告）日： | 2007-03-14 |
| 发明（设计）人： | 诹访充史;南桥克哉 | 申请（专利权）人： | 东丽株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G02B1/04;G03F7/023;G03F7/031;G03F7/037;G03F7/40;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 孙秀武;吴娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 使用 浮雕 图形 以及 固体 成象 元件 | ||
【权利要求书】：
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