[发明专利]基于微电子加工技术的电离气体传感器微阵列结构无效
| 申请号： | 200510112218.7 | 申请日： | 2005-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN1808111A | 公开（公告）日： | 2006-07-26 |
| 发明（设计）人： | 侯中宇;蔡炳初;张亚非;徐东;魏星 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 微电子 加工 技术 电离 气体 传感器 阵列 结构 | ||
【权利要求书】：
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