[发明专利]具有多环内脂结构单元的聚合物在深紫外光刻胶中的应用无效
| 申请号： | 200510098290.9 | 申请日： | 2005-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN1928719A | 公开（公告）日： | 2007-03-14 |
| 发明（设计）人： | 罗杰·森特;陈昕;黄志齐;郑金红 | 申请（专利权）人： | 北京科华微电子材料有限公司;北京化学试剂研究所 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京金富邦专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 孙伯庆;揭玉斌 |
| 地址： | 101113北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 内脂 结构 单元 聚合物 深紫 光刻 中的 应用 | ||
【说明书】：
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