[发明专利]溅射装置有效
| 申请号： | 200510052718.6 | 申请日： | 2005-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN1667155A | 公开（公告）日： | 2005-09-14 |
| 发明（设计）人： | 新井真;大石祐一;石桥晓;小松孝;谷典明;清田淳也;太田淳;中村久三 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 浦柏明;刘宗杰 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 装置 | ||
【说明书】：
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