[发明专利]旋转点切割大尺寸碳化硅晶体装置无效
| 申请号： | 200510046899.1 | 申请日： | 2005-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN1724234A | 公开（公告）日： | 2006-01-25 |
| 发明（设计）人： | 张革;李景春 | 申请（专利权）人： | 张革;李景春 |
| 主分类号： | B28D1/22 | 分类号： | B28D1/22;B28D5/00;B23H11/00 |
| 代理公司： | 沈阳技联专利代理有限公司 | 代理人： | 张志刚 |
| 地址： | 110168辽宁省沈*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 旋转 切割 尺寸 碳化硅 晶体 装置 | ||
【权利要求书】：
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