[发明专利]一种制备玻璃基硅光波导材料的方法无效
| 申请号： | 200510026059.9 | 申请日： | 2005-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN1693931A | 公开（公告）日： | 2005-11-09 |
| 发明（设计）人： | 李广波;杨建义;龙文华;贾科淼;王跃林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13;G02B6/136 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制备 玻璃 基硅光 波导 材料 方法 | ||
【权利要求书】：
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