[发明专利]珀尔帖元件驱动方法和电路、珀尔帖模块的安装结构和电子部件处理装置

权利要求书

1.一种珀尔帖元件的驱动方法，其特征在于：

对供给珀尔帖元件的驱动电流进行通/断控制并作为脉冲来提供，对上述驱动电流的脉冲宽度进行增减控制，以使该珀尔帖元件的温度变化不超过既定的温度坡度。

2.如权利要求1中所述的珀尔帖元件的驱动方法，其特征在于：

对既定的每个周期、控制上述脉冲的周期时间，以使上述周期时间比该珀尔帖元件的热时常数充分地短。

3.如权利要求1或2中所述的珀尔帖元件的驱动方法，其特征在于：

根据既定的控制信号控制上述驱动电流的脉冲宽度。

4.一种珀尔帖元件的驱动电路，其特征在于，具备：

脉冲宽度控制单元，对脉冲信号的脉冲宽度进行增减控制以使珀尔帖元件的温度变化不超过既定的温度坡度；以及

开关单元，根据由上述脉冲宽度控制单元控制的脉冲宽度的脉冲信号，对供给珀尔帖元件的驱动电流进行通/断控制。

5.如权利要求4中所述的珀尔帖元件的驱动电路，其特征在于：

上述脉冲宽度控制单元对既定的每个周期控制上述脉冲信号的周期时间，以使上述脉冲信号的周期时间比该珀尔帖元件的热时常数充分地短。

6.如权利要求4中所述的珀尔帖元件的驱动电路，其特征在于：

上述脉冲宽度控制单元根据来自外部的控制信号控制上述脉冲信号的脉冲宽度。

7.如权利要求4中所述的珀尔帖元件的驱动电路，其特征在于：

还具备检测珀尔帖元件的被冷却/加热物的温度的温度检测单元，根据来自上述温度检测单元的温度信号、以上述被冷却/加热物的温度成为既定的温度的方式控制该珀尔帖元件。

8.如权利要求7中所述的珀尔帖元件的驱动电路，其特征在于：

上述被冷却/加热物是成为电气试验对象的被试验电子部件，

上述温度检测单元将上述被试验电子部件本身具备的二极管的温度依存特性应用于该被试验电子部件的温度的检测。

9.一种珀尔帖模块对于被冷却/加热物的安装结构，其特征在于：

以不对上述珀尔帖模块持续地施加过大的压力的方式将上述珀尔帖模块安装在上述被冷却/加热物上。

10.如权利要求9中所述的珀尔帖模块的安装结构，其特征在于：

上述被冷却/加热物是为了进行电子部件的试验而能将被试验电子部件按压到测试头的接触部分上的推进器，

将上述珀尔帖模块安装在上述推进器中的被试验电子部件按压侧的相反一侧。

11.如权利要求10中所述的珀尔帖模块的安装结构，其特征在于：

上述珀尔帖模块具备能构成冷却面的基板和能构成散热面的基板，以上述冷却面位于上述推进器中的被试验电子部件按压侧的相反一侧的方式将上述珀尔帖模块安装在上述推进器上。

12.如权利要求11中所述的珀尔帖模块的安装结构，其特征在于：

通过将上述能构成冷却面的基板固定在上述推进器上，将上述珀尔帖模块安装在上述推进器上。

13.如权利要求11中所述的珀尔帖模块的安装结构，其特征在于：

上述珀尔帖模块在相对上述推进器、弹性地被按压的状态下被安装在上述推进器上。

14.如权利要求11中所述的珀尔帖模块的安装结构，其特征在于：

在上述珀尔帖模块的散热面中设置了能促进来自该散热面的散热的散热单元。

15.如权利要求14中所述的珀尔帖模块的安装结构，其特征在于：

上述散热单元是经温度调节介质可从上述珀尔帖模块的散热面使其散热的珀尔帖模块散热装置。

16.如权利要求15中所述的珀尔帖模块的安装结构，其特征在于：

上述珀尔帖模块散热装置具备覆盖上述珀尔帖模块的散热面的顶盖构件和在上述顶盖构件的内部导入温度调节介质的温度调节介质供给部分。

17.如权利要求10中所述的珀尔帖模块的安装结构，其特征在于：

上述推进器可在将被试验电子部件按压到测试头的接触部分上的方向和从上述测试头的接触部分分离的方向上移动。