[发明专利]制造具有可动元件的微机电系统的方法有效
| 申请号： | 200480027286.7 | 申请日： | 2004-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN1856440A | 公开（公告）日： | 2006-11-01 |
| 发明（设计）人： | 冈直正;原田宏;荻原淳;福岛博司;野毛宏;铃木裕二;河野清彦;吉原孝明;铃村正彦 | 申请（专利权）人： | 松下电工株式会社 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;G02B26/08;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制造 具有 元件 微机 系统 方法 | ||
【说明书】：
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