[发明专利]用于抛光导电材料的抛光组合物和方法无效
| 申请号： | 200480022595.5 | 申请日： | 2004-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN1842577A | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | 丰·Q·刘;陈梁韵;斯坦·D·蔡;阿莲恩·度布斯特;森·S·诺;胡永崎;王艳;保罗·D·布特尔菲尔德 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C09K3/14;H01L21/3213;H01L21/321;B23H5/08 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 肖善强 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 抛光 导电 材料 组合 方法 | ||
【说明书】：
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