[发明专利]半导体设备无效
| 申请号： | 200410086429.3 | 申请日： | 2004-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN1664954A | 公开（公告）日： | 2005-09-07 |
| 发明（设计）人： | 黑木浩二 | 申请（专利权）人： | 沖电气工业株式会社 |
| 主分类号： | G11C11/40 | 分类号： | G11C11/40;G11C7/00;H01L21/8239 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体设备 | ||
【说明书】：
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