[发明专利]成膜装置、成膜方法、有机EL元件及其制造方法无效
| 申请号： | 200410062408.8 | 申请日： | 2004-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN1578548A | 公开（公告）日： | 2005-02-09 |
| 发明（设计）人： | 丹博树;梅津茂裕 | 申请（专利权）人： | 日本东北先锋公司 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;H05B33/12 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 方法 有机 el 元件 及其 制造 | ||
【权利要求书】：
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