[发明专利]一种微机械往复膜片泵无效
| 申请号： | 200410003457.4 | 申请日： | 2004-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN1673528A | 公开（公告）日： | 2005-09-28 |
| 发明（设计）人： | 王皓;姚汉民;杜春雷;焦玉中 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | F04B17/00 | 分类号： | F04B17/00;F04B19/20 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 刘秀娟;成金玉 |
| 地址： | 610209*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微机 往复 膜片 | ||
【权利要求书】：
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