[实用新型]两件式固定环无效
| 申请号： | 200320100093.2 | 申请日： | 2003-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN2841245Y | 公开（公告）日： | 2006-11-29 |
| 发明（设计）人： | 陈志宏;吴玖勋;史蒂文·M·祖尼加;罗伯特·D·托尔斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 杜娟;肖善强 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 两件式 固定 | ||
【说明书】：
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