[其他]一种非接触式微波测量半导体材料少子寿命的装置

权利要求书

1、一种非接触式微波测量半导体材料少子寿命的装置，由微波源、光源、测试头子及微波检测器四部分组成，本发明的特征在于：该装置的测试头子由以下三个部件组成：

a.上部件〔1〕，其水平方向上的一端是一个呈尖劈形的介质波导-波导过渡，它接在检波器波导〔7〕的波导口内，上部件的中间为矩形截面的介质波导，它的另一端是一个直角弯角，弯角与测试平台的台面垂直，在弯角的垂直部分开有一个上大下小的穿通圆孔〔2〕，圆孔的上方为光源〔9〕，垂直部分的底端为带圆孔的矩形测量面。

b.下部件〔4〕的顶端与上部件〔1〕的垂直部分的底端的截面大小相同、位置对准，中间为同样截面的矩形介质波导，下部件〔4〕的另一端为一个呈尖劈形的波导-介质波导过渡，它接在与微波源相连的衰减器波导〔6〕的波导口内。

c.放置样品的介质测试平台〔3〕，位于上部件弯角的垂直部分的底端和下部件〔4〕的顶端之间;测试平台〔3〕的下方开有一个大于下部件〔4〕中介质波导矩形截面的圆型或矩形凹穴，用以容纳下部件〔4〕的介质波导，上方为-放置待测样品〔5〕的平面。

2、根据权利要求1所述的装置，其特征在于测试头子中的上部件〔1〕与下部件〔4〕采用Al₂O₃陶瓷材料或其它高介电常数的介质材料制成。

3、根据权利要求1所述的装置，其特征在于测试头子的测试平台〔3〕用有机玻璃或聚四氟乙烯或其它低介电常数的介质材料制成。

4、一种反射式非接触式微波测量半导体材料少子寿命的装置，由微波源、光源、测试头子及微波检测器四部分组成。本发明的特征在于，该装置的测试头子由上部件〔1〕，介质测试平台〔3〕组成。上部件〔1〕的尖劈形介质波导-波导过渡接在与环行器一端相连的波导口内，环形器的另外两个端口、分别接微波源与检波器;介质测试平台〔3〕位于上部件〔1〕弯角的垂直部分的底端，微波讯号经环形器到达上部件〔1〕，由上部件〔1〕输出的样品反射信号经环行器到达检波器上，再由显示器显示少子衰退曲线。