[发明专利]等离子体振动开关元件无效
| 申请号： | 03809646.3 | 申请日： | 2003-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN1650436A | 公开（公告）日： | 2005-08-03 |
| 发明（设计）人： | 吉井重雄;大塚信之;水野纮一;铃木朝实良;横川俊哉 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | H01L29/80 | 分类号： | H01L29/80;H01L29/66;H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 振动 开关 元件 | ||
【说明书】：
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