[发明专利]半导体生产系统用的陶瓷加热器无效
| 申请号： | 03801911.6 | 申请日： | 2003-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN1613274A | 公开（公告）日： | 2005-05-04 |
| 发明（设计）人： | 加智义文;柊平启;仲田博彦 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社 |
| 主分类号： | H05B3/10 | 分类号： | H05B3/10;H05B3/16;H05B3/18;H05B3/20;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/68 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 程金山 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 生产 系统 陶瓷 加热器 | ||
【权利要求书】：
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