[发明专利]光学接近修正方法有效
| 申请号： | 03154947.0 | 申请日： | 2003-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN1591200A | 公开（公告）日： | 2005-03-09 |
| 发明（设计）人： | 刘淑慧;吴文彬 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F1/08;G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 郭定辉;黄小临 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学 接近 修正 方法 | ||
【权利要求书】：
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