[发明专利]用离子注入和退火制备铌酸锂晶体波导的方法无效
| 申请号: | 03111918.2 | 申请日: | 2003-03-04 |
| 公开(公告)号: | CN1439750A | 公开(公告)日: | 2003-09-03 |
| 发明(设计)人: | 卢霏;胡卉;陈峰;王雪林;王克明 | 申请(专利权)人: | 山东大学 |
| 主分类号: | C30B31/22 | 分类号: | C30B31/22;C30B33/04;C30B29/30;G02B6/10 |
| 代理公司: | 济南三达专利事务所 | 代理人: | 孙君 |
| 地址: | 250100 *** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 离子 注入 退火 制备 铌酸锂 晶体 波导 方法 | ||
【说明书】:
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