[发明专利]抗蚀性可固化树脂组合物及其固化产品无效
| 申请号： | 02802293.9 | 申请日： | 2002-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN1464996A | 公开（公告）日： | 2003-12-31 |
| 发明（设计）人： | 田村坚志;平田元之;小暮荣吉;山田健一 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/038;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 刘金辉;林柏楠 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抗蚀性可 固化 树脂 组合 及其 产品 | ||
【说明书】：
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