[实用新型]多节立式开合真空溅射离子镀炉无效
| 申请号： | 02202419.0 | 申请日： | 2002-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN2520334Y | 公开（公告）日： | 2002-11-13 |
| 发明（设计）人： | 李忠河 | 申请（专利权）人： | 李忠河 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京慧泉专利事务所 | 代理人： | 王顺荣 |
| 地址： | 161005 黑龙江省*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 立式 真空 溅射 离子镀 | ||
【权利要求书】：
1.一种多节立式开合真空溅射离子镀炉，在炉体底盘上装有立式开合炉体右扇和可以开合的立式开合的炉体左扇及上盖，其特征是：炉体底盘(18)为圆形，其下有炉体支架(19)，连结螺栓(21)将立式开合炉体右扇(11)的第一节和炉体底盘(18)连接，立式开合炉体右扇(11)的第二节和第一节的上连接法兰通过紧固螺孔(20)用紧固件相连接，立式开合炉体左扇(12)和立式开合炉体右扇(11)相同相对应，开合油缸(15)，开合轨道车(16)控制立式开合炉体左扇(12)的开合，通过左、右两扇上两侧的合炉密封板(22)上的数个紧固螺孔(27)用紧固螺栓密封，上盖(1)上安装悬挂自动定位球体(2)、靶芯固定支架螺帽(9)将靶芯(7)固定在加工工件(8)内，悬挂吊筒(4)拧固在悬挂自动定位球体(2)上，球座(3)在齿圈(25)、转动齿轮(30)的作用下绕球底轨道(23)转动，带动加工工件(8)在炉体内绕靶芯(7)转动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于李忠河，未经李忠河许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/02202419.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种防堵悬臂筛网用筛条
- 下一篇：假肢接受腔夹持式连接件
- 同类专利
- 专利分类
