[发明专利]与光学MEMS装置一起使用的成像技术

权利要求书

1.一种光学开关，包括：

包含第一数量微反射镜的MEMS装置；

包含第二数量微反射镜的MEMS装置；以及

一第一成像系统，以其一个光学端与上述第一MEMS装置光学耦合，以便在所述成像系统的与设置上述第一MEMS装置的所述光学端相对的光学端产生上述第一MEMS装置的像；

其中：

(i)所述第一MEMS装置的所述图像和

(ii)由a)所述第二MEMS装置和(b)所述第二MEMS装置的像组成的组中至少一个形成一虚MEMS装置，其具有等于所述第一和第二数量之和的微反射镜数量。

2.如权利要求1所述的本发明，其中所述第一MEMS装置的所述像由从所述第一MEMS装置的所述微反射镜反射的光束构成，每个所述光束具有一定角度，该角度随所述光束从对它进行反射的所述第一MEMS装置的各相应的一个所述微反射镜的反射角而变化。

3.如权利要求1所述的本发明，其中所述第一MEMS装置的所述像由从所述第一MEMS装置的所述微反射镜反射的光束构成，并且所述成像系统再现每个光束从对其进行反射的所述第一MEMS装置的所述微反射镜的各相应的一个微反射镜反射的角度。

4.如权利要求1所述的本发明，进一步包括由一棱镜和反射镜组成的组中之一，用于使来自或朝向所述第一成像系统的方向传播的光束弯折。

5.如权利要求1所述的本发明，进一步包括：

一场镜系统，用于对可视作来自所述虚MEMS装置的方向，或朝所述虚MEMS装置传播的光进行处理。

6.如权利要求1所述的本发明，进一步包括一包含第三数量微反射镜的第三MEMS装置，所述第三MEMS装置的所述微反射镜被设置成对可视作来自所述虚MEMS装置的光进行反射。

7.如权利要求1所述的本发明，进一步包括一包含第三数量微反射镜的第三MEMS装置，所述第三MEMS装置的所述微反射镜被设置成将光反射到所述虚MEMS装置的各个微反射镜上。

8.如权利要求1所述的本发明，进一步包括一反射镜，该反射镜被设置成将所述虚MEMS装置的所述像向回朝向所述像反射，而且所述虚MEMS装置具有等于所述第一和第二数量之和的微反射镜数量，从而形成一具有折叠式结构的交叉连接。

9.如权利要求1所述的本发明，其中所述第一成像系统包括至少一个反射镜，设置该反射镜以获得紧凑的结构。

10.如权利要求1所述的本发明，其中：

一包含第三数量微反射镜的第三微机电系统(MEMS)装置；

一包含第四数量微反射镜的第四MEMS装置；以及

一第二成像系统，该第二成像系统以其一个光学端与所述第三MEMS装置光学耦合，以便在所述成像系统的与设置所述第三MEMS装置的所述光学端相对的光学端产生所述第三MEMS装置的像；

其中设置所述第四成像系统，使得(i)所述第三MEMS装置的所述像和(ii)由所述第四MEMS装置和所述第四MEMS装置的像组成的组中至少之一，形成一具有等于所述第三和第四数量之和的微反射镜数量的虚MEMS装置；并且

其中设置所述具有等于所述第一和第二数量之和的微反射镜数量的虚MEMS装置，和所述具有等于所述第三和第四数量之和的微反射镜数量的虚MEMS装置，以形成一交叉连接。

11.如权利要求10所述的本发明，进一步包括至少一个反射镜，其中所述具有等于所述第一和第二数量之和的微反射镜数量的虚MEMS装置和所述具有等于所述第三和第四数量之和的微反射镜数量的虚MEMS装置被设置成彼此相邻，以便形成一具有所述第一、第二、第三和第四数量之和的微反射镜数量的虚MEMS装置，设置所述反射镜，以便将具有等于所述第一、第二、第三和第四数量之和的微反射镜数量的所述虚MEMS装置的像向回朝向具有所述第一、第二、第三和第四数量之和的微反射镜数量的所述虚MEMS装置的所述图像反射，从而形成一具有折叠式结构的交叉连接。