[发明专利]泵及其制造方法

权利要求书

1.一种泵，是通过利用压电促动器的作用使泵室的容积变化，而将流体吸入泵室内或将流体从泵室排出的压电泵，

其特征在于，包括：具有与泵室连通的吸入侧及排出侧流路的盒体，和由用薄膜形成的止回阀膜及具有利用该止回阀膜通过压力差开关的管路的止回阀框体构成的止回阀单元，把该止回阀单元安装在泵室与流路之间。

2.根据权利要求1所述的泵，将压电促动器和金属薄板叠合而成的振动膜装入盒体中，在振动膜和盒体之间形成泵室。

3.根据权利要求1所述的泵，其特征在于，流体的吸入侧止回阀单元和流体排出侧止回阀单元的形状相同，在吸入侧和排出侧将止回阀单元上下相反地安装到盒体中。

4.根据权利要求1所述的泵，其特征在于，从振动膜设置面的相对侧将止回阀单元安装到盒体中。

5.根据权利要求1所述的泵，其特征在于，盒体是由设置振动膜的第1盒体部和相对于该第1盒体部为独立部件并安装止回阀单元的第2盒体部构成。

6.根据权利要求5所述的泵，其特征在于，在盒体和止回阀单元之间，以及在第1和第2盒体部之间的至少一个为嵌合结构，采用过盈配合通过压入安装该嵌合部分。

7.根据权利要求5所述的泵，其特征在于，在盒体和止回阀单元之间，以及在第1和第2盒体部之间的至少一个为嵌合结构，采用过渡配合或间隙配合、通过粘接或熔敷来安装该嵌合部分。

8.根据权利要求5所述的泵，其特征在于，在盒体和止回阀单元之间，以及在第1和第2盒体部之间的至少一个为嵌合结构，在该嵌合部分上形成螺纹牙以进行螺纹配合。

9.根据权利要求1所述的泵，其特征在于，以堵住止回阀框体的管路的方式配置止回阀膜，将止回阀膜接合到止回阀框体上。

10.根据权利要求9所述的泵，其特征在于，以堵住止回阀框体的管路的方式配置形成有通气孔的止回阀膜，将包含管路的通气口周围的止回阀膜接合到止回阀框体上。

11.根据权利要求10所述的泵，其特征在于，以跨越管路位于管路两侧的方式形成通气口。

12.根据权利要求10所述的泵，其特征在于，在离开管路的位置上，形成一条平行于管路外周切线的通气口。

13.根据权利要求10所述的泵，其特征在于，在离开管路的位置上，沿周向形成多条平行于管路外周切线的通气口。

14.根据权利要求10所述的泵，其特征在于，形成于止回阀膜上的通气口的形状为连续的曲线状。

15.根据权利要求9所述的泵，其特征在于，以堵住管路的方式配置止回阀膜，将夹住管路的两边接合到止回阀框体上。

16.根据权利要求9所述的泵，其特征在于，以堵住管路的方式配置具有一条可开口的边的止回阀膜，将除所述可开口的一条边之外的流路周围接合到止回阀框体上。

17.根据权利要求9所述的泵，其特征在于，以堵住管路的方式配置止回阀膜，沿管路的周边将止回阀膜定点接合到止回阀框体上，并在接合部之间形成通气口。

18.根据权利要求17所述的泵，其特征在于，以堵住管路的方式配置多边形止回阀膜，将多边形的各角顶点接合到止回阀框体上。

19.根据权利要求9所述的泵，其特征在于，止回阀膜具有切开薄膜的一部分而形成的折片部，沿折片部的周围将止回阀膜接合到止回阀框体上。

20.根据权利要求19所述的泵，其特征在于，利用以规定间隔隔开的多个开口部形成由折片部开关的管路，在多个开口部的中央形成支撑折片部的支撑部。

21.根据权利要求9所述的泵，其特征在于，将止回阀膜形成带状，只使止回阀膜的单侧沿与其长度方向正交的方向与止回阀框体接合。

22.根据权利要求9所述的泵，其特征在于，以第1和第2间隔件形成止回阀框体，同时使第1及第2隔件形成嵌合结构，在第1及第2间隔件之间夹住止回阀膜并进行接合。

23.根据权利要求22所述的泵，其特征在于，粘接第1间隔件与第2间隔件。