[发明专利]带自对准的掩膜板无效
| 申请号： | 02111916.3 | 申请日： | 2002-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN1381738A | 公开（公告）日： | 2002-11-27 |
| 发明（设计）人： | 李以贵;贾书海;王宏坤 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G02B6/136 | 分类号： | G02B6/136;G03F1/08 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟 |
| 地址： | 200030*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 对准 掩膜板 | ||
【权利要求书】：
1、一种带自对准的掩膜板，主要包括：玻璃基板(1)、Au/Cr层(2)、镀镍层(3)，其特征在于包括微孔(4)，其连接方式为：玻璃基板(1)在最上层，中间为Au/Cr层(2)，下层为镀镍层(3)，玻璃基板(1)、Au/Cr层(2)、镀镍层(3)之间通过胶联或键合连接，微孔(4)位于镀镍层(3)上。
2、根据权利要求1所述的这种带自对准的掩膜板，其特征是微孔(4)本身尺寸和光纤外径尺寸相同，对应于微孔(4)处的中间Au/Cr层(2)上有掩膜图形。
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