[发明专利]直线运动导向组件

说明书

技术领域

本发明涉及应用于各种机械手、半导体制造设备、精密机械、工作机械等各种机械的直线运动导向组件。

背景技术

以往，在各种机械手、半导体制造设备、检查设备、工作机械等各种设备中，对进行往复运动的部件，为了满足高精度、高速化、小型化等需求而装入直线运动导向组件。最近，直线运动导向组件除了使高精度和高速化等性能提高以外，无需维护也受到重视，并且朝着使用小型、即极小类型的直线运动导向组件的趋势发展，因此，构成直线运动导向组件的部件或零件变为小的构造，从这些零件的组装误差、组装工时数来看，需要减少零件数目，进行一体化，而且，要求没有小直径孔、小直径螺丝孔等的加工、螺钉固定等。即，直线运动导向组件在机械设备中构成不可缺少的重要的机械元件，被用于各种规模、各种形式的设备。在半导体设备、组装设备、各种机械设备中，期望在导轨上对滑动器进行轻快导向的小型的直线运动导向组件。

以往，为了减少无限轨道内的接缝、即不连续面的数目，实现球的滑动，同时减少小的零件来提高组装性，已知可以低价并且在短时间内组装的所谓的直线滑动用轴承(例如，参照日本专利第2846050号说明书)。该直线滑动用轴承具有轨道台、在该轨道台上滑动的滑动台和多个转动体，滑动台包括：将金属制的厚壁板和具有在所述厚壁板的下部设置的内面上转运负载转动体的负载转动体转运槽的一对支脚加以一体形成的块体(block)；在下部转运与所述无负载转动体转运槽连通的无负载转动体的无负载转动体转运槽和外嵌在前后两端面上设置接受所述轨道台的凹部的所述块体的支脚部中的方环体；以及在上部与所述方环体连结，具有与转运所述无负载转动体的所述方环体的无负载转动体转运槽一起构成无限轨道的无负载部分的无负载转动体转运槽的一对板。而且，方环体将突起啮合连接固定在支脚部外侧面上形成的槽中，一对板通过将方环体的四角的销钉插入在孔中来进行连接固定。

另外，在日本专利第2775129号说明书中披露的直线运动式导向装置中，移动块由形成了槽状往返路径的金属制的第2构成部件、形成了转动体循环路径的第1构成部件、以及在第1构成部件和第2构成部件的两端部间嵌入的一对第3构成部件构成。

而且，在日本专利第2936166号说明书中披露的直线运动导向装置表示出可固定的铆钉连结部件，形成为不使用安装用的螺钉的结构。上述直线运动导向装置是将由该转向板端面而来的凸部勾住在滑架部件的上表面来使转向板连接固定于滑架部件的两端，再将其插入于包围住两转向板的外端面的导向滑架用的壳体中，并用所述铆钉连结部件进行连接固定的直线运动导向装置。

然而，虽然上述直线滑动用轴承是应用于小型的直线运动导向组件中的部件，但在加工块体时形成从块体的厚壁板中突出的支脚部的构造。而且，由于通过方环体和板来形成无负载转动体转运槽、即复位路径，所以滑动台为宽度宽的构造。如果形成减小滑动台宽度的结构，那么支脚部的宽度变窄，支脚部的刚性将变得不足。而且，由于通过支脚部的外侧面上形成的槽和方环体上设置的突起之间的啮合，将支脚部和方环体连接固定，所以形成压宽方环体的突起部分并啮合在支脚部的槽中的构造。

另外，上述直线运动式导向装置的金属制的第2构成部件在轴方向上剖面形状固定，加工较为容易，但由于作为转动体循环路径的归路径和返回路径主要以第1构成部件来形成，所以组装第1构成部件、第2构成部件和第3构成部件来构成的转动体循环路径不为圆形隧道状，反向路径以U字状通路来形成，在对小的转动体进行导向时，存在产生毛病的可能性，存在阻碍转动体平滑地滑动的可能性。而且，由于各构成部件是通过在第2构成部件的两端面上形成的螺丝孔中拧紧螺钉来固定的构造，所以需要进行螺钉加工等。

另外，上述的直线运动导向装置的作为转动体循环路径的方向转换路径和复位路径为各自的构成体，即形成方向转换路径的转向板、形成复位路径的导向滑架用壳体被分开形成，难以成为平滑地构成转动体循环路径的构造，导向滑架成为整体上复杂结构的组装体。

发明内容

本发明的目的在于解决上述课题，提供能够应用于多种尺寸、多种形式的直线运动导向组件，特别适合应用于极小构造类型的直线运动导向组件，将导轨上滑动的滑动器主要由壳体、端盖部及盖部构成的复合部件的两个构成部件来构成，可以减少零件数目，不使用螺丝等来进行两者的固定，而用相互啮合型的连接固定部构成而尽量以小型形成。