[实用新型]纳米级位置定位装置无效
| 申请号： | 01274018.7 | 申请日： | 2001-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN2510230Y | 公开（公告）日： | 2002-09-11 |
| 发明（设计）人： | 胡旭晓 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | B23Q3/18 | 分类号： | B23Q3/18 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纳米 位置 定位 装置 | ||
【权利要求书】：
1.纳米级位置定位装置，其特征在于它具有恒温室[1]，在恒温室内设有粗级定位装置和纳米级定位装置，粗级定位装置为滚珠丝杆[7]，纳米级定位装置具有工作腔壳体[4]，在工作腔内设有变形体[10]，变形体两侧设有变形体支撑块，变形体支撑块两侧和变形体两端分别设有隔热板[13]、[6]、[2]，在变形体上设有温度感知器[5]，在变形体一端设有位移感知器[9]，在变形体支撑块上设有两调温管道[11]、[3]，在调温管道[11]一端设有调温器[12]，调温管道[3]一端设有调温器[8]。
2.根据权利要求1所述的一种纳米级位置定位装置，其特征在于所说的温度感知器采用热电偶、热电阻或半导体测温器件。
3.根据权利要求1所述的一种纳米级位置定位装置，其特征在于所说的位移感知器采用纳米电容传感器或激光测量装置。
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