[发明专利]电容式压力微传感元件及制造方法与信号读取方法无效
| 申请号: | 01119057.4 | 申请日: | 2001-05-25 |
| 公开(公告)号: | CN1155807C | 公开(公告)日: | 2004-06-30 |
| 发明(设计)人: | 周正三;鄒庆福;蔡明霖;郑元伟;邱俊诚;林炜挺 | 申请(专利权)人: | 周正三;邱俊诚 |
| 主分类号: | G01D5/24 | 分类号: | G01D5/24 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 黄敏 |
| 地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 电容 压力 传感 元件 制造 方法 信号 读取 | ||
【说明书】:
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