[发明专利]集成电路测试装置的定时校正方法及其装置

权利要求书

1.一种使用具有基准比较器的探针的IC测试装置的定时校正方法，包括下面的步骤：

(a)上述探针从外部顺序选择地接触IC插座的各个管脚；

(b)从上述IC测试装置的驱动器向上述IC插座的各个管脚施加校正脉冲；

(c)以提供给上述基准比较器的基准选通脉冲的定时得到由上述探针的上述基本比较器从上述驱动器向各个管脚施加的上述校正脉冲；

(d)求上述校正脉冲的定时和上述基准选通脉冲的定时的偏差；

(e)调整上述驱动器的各个信号路径上设置的可变延迟电路的延迟时间，使得上述偏差作为预定的值。

2.如权利要求1所述的定时校正方法，上述探针还具有基准驱动器，上述方法还包括下面的步骤：

(f)上述探针从外部顺序选择地接触IC插座的各个管脚；

(g)从上述探针的上述基准驱动器向上述IC插座的各个管脚施加基准校正脉冲；

(h)由上述IC测试装置的各个比较器以提供给上述比较器的选通脉冲的定时得到从上述基准驱动器向各个管脚施加的上述基准校正脉冲；

(i)求上述基准校正脉冲的定时和上述选通脉冲的定时的偏差；

(j)调整插入上述选通脉冲的信号路径中的定时校正用可变延迟电路的延迟时间，使得上述偏差作为预定的值。

3.如权利要求1或2所述的定时校正方法，还包括以下步骤：

在上述步骤(a)之前，预先调整插入上述基准选通脉冲的信号路径中的定时校正用可变延迟电路的延迟时间，使得上述基准选通脉冲的定时与从上述IC插座的预定确定的基准管脚提供的校正脉冲的定时一致。

4.如权利要求1或2所述的定时校正方法，还包括以下步骤：

在上述步骤(f)之前，预先调整插入上述基准校正脉冲的信号路径中的定时校正用可变延迟电路的延迟时间，使得上述基准驱动器的基准校正脉冲的定时与提供给对应于上述IC插座的预先确定的基准管脚的比较器的选通脉冲的定时一致。

5.如权利要求2所述的定时校正方法，还包括以下步骤：

在上述步骤(a)之前，调整插入上述基准校正脉冲的信号路径中的定时校正用可变延迟电路的延迟时间和插入上述基准选通脉冲的信号路径中的定时校正用可变延迟电路的延迟时间的其中一个，使得从上述基准驱动器输出的基准校正脉冲的定时与提供给上述基准比较器的基准选通脉冲的定时一致。

6.一种使用具有基准驱动器的探针的IC测试装置的定时校正方法，包括下面的步骤：

(a)上述探针从外部顺序选择地接触IC插座的各个管脚；

(b)从上述探针的上述基准驱动器向上述IC插座的各个管脚施加基准校正脉冲；

(c)由上述IC测试装置的各个比较器以提供给上述比较器的选通脉冲的定时得到从上述基准驱动器向各个管脚施加的上述基准校正脉冲；

(d)求上述基准校正脉冲的定时和上述选通脉冲的定时的偏差；

(e)调整插入上述选通脉冲的信号路径中的定时校正用可变延迟电路的延迟时间，使得上述偏差作为预定的值。

7.如权利要求6所述的定时校正方法，还包括以下步骤：

在上述步骤(a)之前，预先调整插入上述基准校正脉冲的信号路径中的定时校正用可变延迟电路的延迟时间，使得上述基准驱动器的基准校正脉冲的定时与提供给对应于上述IC插座的预先确定的基准管脚的比较器的选通脉冲的定时一致。